?驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，具有50×50mm开口部的超高精密定位的中空型XY平台，适用于在显微镜下微动。?推荐使用控制器FINE-503驱动。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。选购测量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等，可方便地构建位置控制系统。?是各种显微镜，精密测量装置，半导体检测装置，高精度曝光，扫描型干涉仪，图像处理装置，或相关生物用装置的最佳选择。
?在闭环控制时，平台的行程与开环控制时相比会减少20%左右。
压电陶瓷平台
